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micromex

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phoenix microme|x


高性能X射线检测系统


phoenix microme|x系列结合高分辨率二维X射线技术和CT技术于一体,性能优异且运行定位精确高使得系统具有高效和可靠的特点, 广泛应用于二维和三维离线检测要求: 产品研发, 失效分析, 产品制造和质量控制。


phoenix|x-ray x|act技术提供了简便的基于CAD文件导入的自动检测程序, 具有微米级检测能力, 特别是受益于GE高动态响应和主动冷却特性的DXR平板探测器, 有可达30fps刷新率, 提供了杰出的实时清晰图像和高速三维CT扫描性能。



特点


•    自主冷却和温度稳定控制的数字DXR平板探测器具有
•    高动态响应进行实时成像
•    细节分辨率可达0.5微米的180kV/20W高功率亚微米
•    具有CAD文件导入的x|act软件可编程和自动检测
•    采用金刚石靶材,在同等质量影像条件下数据截取的速度可快2倍
•    可选三维CT扫描功能,实现10秒的快速扫描


phoenix microme|x优点


•    高动态响应DXR平板的实时清晰图像
•    特有180 kV / 20 W高功率亚微米焦点或纳米焦点*射线管, 适于高辐射
•    吸收性材料检测
•    高效的自动CAD文件导入编程缩减设置时间
•    甚至在旋转倾斜视角下实现CAD信息实时匹配
•    高缺陷检出率和重复性
•    操作使用简便性
•    细节分辨率可达0.5μm
•    可选Flash! FiltersTM影像优化技术
•    可选高级失效分析功能的高分辨率三维微米或纳米CT
•    可选快速CT扫描时间可达10s


技术规格和配置


放大倍率和分辨率
几何放大倍率:            DXR 最大 1,970 x; 图像增强器 最大 2,130 x
系统放大倍率:            DXR 最大 2,660 x; 图像增强器 最大 22,150 x
细节分辨率:              可达 0.5μm



180kV微焦点或纳米焦点X射线管
类型:                   低维护性开放式微焦点射线管、无寿命限制、透射靶、170° 辐射角,准直功能
最高管电压:             180 kV                     
最大管功率:             20 W
靶:                     选择无毒diamond|window(CVD金刚石镀钨),同等影像质量水平,数据截取快2倍
灯丝:                   钨丝、经预调的即插式结构,更换简单快捷



高级图像处理 (16 bit)
x|act:                   基于CAD导入的功能全面X射线检测软件,包含图像增强处理功能,量测功能和基于CAD数据的快速简便的自动定位检测程序
bga|module (标配):       BGA焊点自动分析,包括自动润湿性分析
vc|module (标配):        空隙自动计算软件,包括多重芯片的贴装检测



高动态响应DXR平板探测器
类型:                   高动态响应的GE DXR250RT,主动冷却和温度稳定装置,可实现高质量实时成像和快速影像截取(nanome|x可配置双探测器,图像增强                     
                         器和平板探测器)
像素数量:               1000 x 1000 像素
像素分辨率:             200 x 200 微米
帧频刷新率:             可达30 fps



高精度操控
总体结构:                高精度无振动5轴同步驱动操控平台
最大检测区域:            460 mm x 360 mm (18" x 14")
                         610 mm x 560 mm (24" x 22") 不使用旋转台
最大样品尺寸/重量:       680 mm x 635 mm (27" x 25") / 10 kg (22 lbs.)
ovhm高放大倍率倾斜视角:  ovhm –可达70°,斜角连续可调, 360°连续旋转
操控:                    操纵杆控制或鼠标操作(手动模式)和数控编程控制(自动模式)
操控辅助:                X射线影像导航图,点击移动功能,点击放大功能,自动保持视野中心功能,激光定位瞄准模式)
防碰撞装置:              防止检测样品与射线管产生碰撞


系统尺寸
尺寸 (W x H x D):      2020mm x1920mm x1860mm
                      (79.5" x 75.6" x 73.2")
                      (D 包含控制台为2160 mm)
最小运输宽度:        1560mm|61.4"
重量:                约2,600 kg / 5,732 lbs


辐射安全防护
辐射安全屏蔽室是全方位的安装防护,依据德国RöV法令和美国FDA 21 CFR1020.40
标准不需要特别的型式许可。对于设备的操作,可能需要当地的官方许可。














软件配置 (可选)

x|act BGA 检测模块:               基于CAD数据的BGA焊点自动分析

x|act PTH 检测模块:                基于CAD数据的PTH焊点自动分析

qfp|module:                                自动检测QFP焊点

qfn|module:                                自动检测QFN/MLF焊点

pth|module:                                自动检测PTH焊点

c4|module:                                 在背景结构下的圆形焊点分析,如倒装芯片的焊点

ml|module:                                 多层线路板的检测

quality|review:                            用于返工和缺陷显示的可视化模块

Flash! FiltersTM:                         GE特有的影像优化技术

PlanarCT module:                       非破坏性平板二维切片和三维数据分析包括3D|viewer software


硬件配置 (可选)

倾斜旋转装置:                        倾斜±45°与连续360°旋转,最大样品载重2kg
手动条码扫描器:                    用于产品识别


计算机断层扫描 (可选)

结合二维与三维(CT) 操作的升级模块
CT装置:                                     高精度旋转轴
数据截取/重建软件:                phoenix datos|x 专有CT软件
最大几何放大倍率:                 100 x (CT)
最高体元分辨率:                     可达2 μm,依实际尺寸而定。